CF4

نظرة عامة على المنتج:

يُعرف CF4 باسم بيرفلورو الميثان، وهو غاز عديم اللون وغير قابل للاشتعال وغير سام. وهو غاز خامل كيميائيًا وله قدرة عالية إلى حد ما على التسبب في الاحتباس الحراري العالمي (GWP = 6,630؛ بروتوكول غازات الاحتباس الحراري، تقرير التقييم الخامس AR5).
رباعي فلورو الميثان مستقر للغاية وله عمر طويل في الغلاف الجوي يصل إلى 50000 عام. وعلى الرغم من تشابهه البنيوي مع مركبات الكلورو فلورو كربون، فإن رباعي فلورو الميثان لا يستنزف طبقة الأوزون. وذلك لأن النضوب يحدث بسبب ذرات الكلور في مركبات الكلورو فلورو كربون، والتي تتفكك عند تعرضها للأشعة فوق البنفسجية. وتكون روابط الكربون والفلور أقوى وأقل عرضة للتفكك. ويُستخدم كمكون مهم في بعض أنظمة التبريد ذات درجات الحرارة المنخفضة للغاية، كما يُستخدم كغاز نقش أيوني تفاعلي في تطبيقات معالجة المواد شبه الموصلة.
في تطبيقات أشباه الموصلات، على سبيل المثال، في الحفر الأيوني التفاعلي، يعتبر رباعي فلورو الميثان أكبر غاز فلوروكربوني مستخدم. في تطبيقات أخرى، يمكن استخدام رباعي فلورو الميثان كغاز لتنظيف حجرة البلازما، وعامل توسع للبولي أوليفينات والبولي يوريثين، وكمصدر للوقود للهباء الجوي، وعامل إطفاء الحرائق، ووسط عازل كهربائي غازي.

المواصفات والمعايير

سيناريوهات التطبيق

• يتم دمجه مع الأكسجين لنقش البوليسليكون، وثاني أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون، وبعض المعادن والسيليكات المعدنية
• يمكن دمجه مع الهالوكربون 116 أو استخدامه بمفرده لتنظيف الرقائق والغرف
• عمليات نقش الرقائق
• مبرد منخفض الحرارة (R-14)
• عامل توسيع للبولي أوليفينات والبولي يوريثينات
• تصنيع الدوائر الإلكترونية الدقيقة
• دافع للرشاشات
• عامل إطفاء الحرائق
• وسط عازل كهربائي غازي