শিল্প গ্যাস

পণ্যের সারসংক্ষেপ:

CF4 কে পারফ্লুরোমেথেন হিসেবে পরিচিত, এটি একটি বর্ণহীন, অগ্নিসংযোগক, এবং অ বিষাক্ত গ্যাস। এটি রসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় এবং এর গ্লোবাল ওয়ার্মিং পটেনশিয়াল (GWP = 6,630; গ্রীনহাউস গ্যাস প্রোটোকল, পঞ্চম মূল্যায়ন প্রতিবেদন AR5) মাঝারি উচ্চ।
টেট্রাফ্লুরোমেথেন খুব স্থিতিশীল এবং এর বায়ুমণ্ডলীয় জীবনকাল 50,000 বছর। যদিও এটি ক্লোরোফ্লুরোকার্বনের সাথে গঠনগতভাবে অনুরূপ, টেট্রাফ্লুরোমেথেন ওজোন স্তরকে ক্ষয় করে না। এর কারণ হল ক্লোরিন পরমাণু CFCs এ ক্ষয় সৃষ্টি করে, যা UV রশ্মি দ্বারা আঘাতপ্রাপ্ত হলে বিচ্ছিন্ন হয়। কার্বন-ফ্লুরিন বন্ধনগুলি শক্তিশালী এবং বিচ্ছিন্ন হওয়ার সম্ভাবনা কম। এটি কিছু অতিরিক্ত-নিম্ন তাপমাত্রার রেফ্রিজারেশন সিস্টেমে একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসেবে এবং সেমিকন্ডাক্টর উপাদান প্রক্রিয়াকরণ অ্যাপ্লিকেশনে একটি প্রতিক্রিয়াশীল আয়নীয় খোদাই গ্যাস হিসেবে ব্যবহৃত হয়।
অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, উদাহরণস্বরূপ, প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন খোদাইয়ে, টেট্রাফ্লুরোমিথেন সবচেয়ে বড় পরিমাণে ফ্লুরোকার্বন গ্যাস হিসেবে ব্যবহৃত হয়। অন্যান্য অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, টেট্রাফ্লুরোমিথেন প্লাজমা চেম্বার পরিষ্কারের গ্যাস, পলিওলফিন এবং পলিউরেথেনের জন্য একটি সম্প্রসারণ এজেন্ট, এয়ারোসোলের জন্য একটি প্রপেল্যান্ট, আগুন নিভানোর এজেন্ট এবং একটি গ্যাসীয় ডায়েলেকট্রিক ইনসুলেটিং মাধ্যম হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে।

স্পেসিফিকেশন এবং পরামিতি

আবেদন পরিস্থিতি

• পলিসিলিকন, সিলিকন ডাইঅক্সাইড, সিলিকন নাইট্রাইট, কিছু ধাতু এবং ধাতব সিলাইড খোদাই করতে অক্সিজেনের সাথে মিলিত হয়
• হ্যালোকার্বন ১১৬ এর সাথে মিলিত হতে পারে অথবা একা ব্যবহার করে ওয়েফার এবং চেম্বার পরিষ্কার করতে পারে
• ওয়েফার খোদাই প্রক্রিয়া
• নিম্ন-তাপমাত্রার রেফ্রিজারেন্ট (আর-১৪)
• পলিওলফিন এবং পলিউরেথেনের জন্য সম্প্রসারণ এজেন্ট
• ইলেকট্রনিক্স মাইক্রোফ্যাব্রিকেশন
• এয়ারোসোলের জন্য প্রপেল্যান্ট
• আগুন নিভানোর এজেন্ট
• গ্যাসীয় ডায়েলেকট্রিক ইনসুলেটিং মাধ্যম