Industrigasser

Produktoversigt:

CF4 er kendt som perfluormethan, er en farveløs, ikke-brændbar og ikke-toksisk gas. Den er kemisk inert og har et moderat højt potentiale for global opvarmning (GWP = 6.630; drivhusgasprotokol, femte vurderingsrapport AR5).
Tetrafluormethan er meget stabilt og har en lang atmosfærisk levetid på 50.000 år. Selvom det strukturelt ligner chlorfluorcarboner, nedbryder tetrafluormethan ikke ozonlaget. Dette skyldes, at nedbrydningen forårsages af kloratomerne i CFC'er, som dissocierer, når de rammes af UV-stråling. Carbon-fluor bindinger er stærkere og mindre tilbøjelige til at dissociere. Det bruges som en vigtig komponent i nogle ultralave temperatur kølesystemer og også som en reaktiv ion ætsningsgas i halvledermateriale bearbejdningsapplikationer.
I halvlederapplikationer, for eksempel i reaktiv ion ætsning, er tetrafluormethan den største volumen fluorcarbon gas, der anvendes. I andre applikationer kan tetrafluormethan bruges som en plasma kammer rengøringsgas, et ekspansionsmiddel til polyolefiner og polyurethaner, som en propel til aerosoler, som et brandslukningsmiddel og som et gasformigt dielektrisk isoleringsmedium.

Specifikationer og parametre

Anvendelsesscenarier

• Kombineret med ilt for at ætse polysilikon, siliciumdioxid, siliciumnitrit, nogle metaller og metalsilicider
• Kan kombineres med halocarbon 116 eller bruges alene til at rense wafers og kamre
• Wafer ætseprocesser
• Lavtemperatur kølemiddel (R-14)
• Udvidelsesmiddel til polyolefiner og polyurethaner
• Elektronik mikroforarbejdning
• Drivmiddel til aerosoler
• Brandslukningsmiddel
• Gasformigt dielektrisk isoleringsmedium