Gáis Thionsclaíoch

Forbhreathnú ar an Táirge:

Tá CF4 ar a dtugtar perfluoromethane, tá sé ina ghas gan dath, neamh-inadhainte, agus neamh-tocsaineach. Tá sé ceimiceach neamhghníomhach agus tá poitéinseal ard domhanda téamh (GWP = 6,630; prótacal gáis ceaptha, Tuairisc Tosaigh a Cúig AR5).
Tá tetrafluoromethane an-stabil agus tá saol atmaisféar fada aige de 50,000 bliain. Cé go bhfuil sé struchtúrtha cosúil le clorofluorocarbon, ní chuireann tetrafluoromethane le laghdú na sraithe ozóin. Is é an chúis atá leis an laghdú ná na adaimh chlóirín i CFCanna, a dhíscaoileann nuair a bhuaileann radaíocht UV iad. Tá na ceangail carbón-fluairín níos láidre agus ní dócha go ndíscaoilfidh siad. Úsáidtear é mar chomhpháirt thábhachtach i roinnt córais fuaraithe ultra-íseal teochta agus freisin mar ghas etching ian gníomhach i gcur i bhfeidhm ábhar leathsheoltóra.
I gcur i bhfeidhm leathsheoltóra, mar shampla, i gciontóireacht ian gníomhach, is é tetrafluoromethane an ghas fluocarbon is mó a úsáidtear. I gcur i bhfeidhm eile, is féidir tetrafluoromethane a úsáid mar ghas glantacháin seomra plásma, mar gníomhaire leathnaithe do pholyoileafíní agus polúireatáin, mar ghás gníomhachta do aeróil, mar gníomhaire dóiteáin, agus mar mheán inslithe dielectreach gáis.

Sonraíochtaí agus paraiméadair

Cásanna iarratais

• Comhoibriú le ocsaigin chun polysilicon, silicon dioxide, silicon nitrite, roinnt miotail agus silicides miotail a ghoid
• Is féidir é a chomhcheangal le halocarbon 116 nó a úsáid ina aonar chun wafers agus seomraí a ghlanadh
• Próisis ghoid wafer
• Fuinneamh íseal-teochta (R-14)
• Gníomhaire leathnaithe do polyolefins agus polyurethanes
• Microfabrication leictreonach
• Gníomhairí do aeróis
• Gníomhaire do dhóiteáin
• Meán inslithe dielectreach gáis