Industrijski plinovi

Pregled proizvoda:

CF4 je poznat kao perfluorometan, bezbojan je, nepaljiv i netoksičan plin. Kemijski je inertan i ima umjereno visoki potencijal globalnog zagrijavanja (GWP = 6,630; Protokol stakleničkih plinova, Peti izvještaj o procjeni AR5).
Tetrafluorometan je vrlo stabilan i ima dugo atmosfersko trajanje od 50.000 godina. Iako je strukturno sličan klorofluorougljicima, tetrafluorometan ne iscrpljuje ozonski omotač. To je zato što iscrpljenje uzrokuju atomi klora u CFC-ima, koji se disociraju kada ih udari UV zračenje. Ugljik-fluor veze su jače i manje sklone disocijaciji. Koristi se kao važna komponenta u nekim sustavima hlađenja na ultra-niskim temperaturama, a također i kao plin za reaktivno ion etching u aplikacijama obrade poluvodičkih materijala.
U aplikacijama poluvodiča, na primjer, u reaktivnom ion etchingu, tetrafluorometan je plin fluorougljika koji se koristi u najvećem volumenu. U drugim aplikacijama, tetrafluorometan se može koristiti kao plin za čišćenje plazma komora, kao sredstvo za ekspanziju za poliolefine i poliuretane, kao pogonsko sredstvo za aerosole, kao sredstvo za gašenje požara i kao plinoviti dielektrični izolacijski medij.

Specifikacije i parametri

Scenariji primjene

• Kombiniran s kisikom za graviranje polikristalnog silicija, silicijevog dioksida, silicijevog nitrida, nekih metala i metalnih silikida
• Može se kombinirati s halokarbonom 116 ili koristiti samostalno za čišćenje wafersa i komora
• Procesi graviranja wafera
• Hladiv s niskom temperaturom (R-14)
• Sredstvo za ekspanziju za poliolefine i poliuretane
• Mikrofabrikacija elektronike
• Pogonsko sredstvo za aerosole
• Sredstvo za gašenje požara
• Plinoviti dielektrični izolacijski medij