Gas Industri

Gambaran Umum Produk:

CF4 dikenal sebagai perfluorometana, adalah gas tidak berwarna, tidak mudah terbakar, dan tidak beracun. Ini secara kimia inert dan memiliki potensi pemanasan global yang cukup tinggi (GWP = 6.630; protokol gas rumah kaca, Laporan Penilaian Kelima AR5).
Tetrafluorometana sangat stabil dan memiliki umur atmosfer yang panjang yaitu 50.000 tahun. Meskipun secara struktural mirip dengan klorofluorokarbon, tetrafluorometana tidak mengurangi lapisan ozon. Ini karena pengurangan disebabkan oleh atom klorin dalam CFC, yang terdisosiasi ketika terkena radiasi UV. Ikatan karbon-fluorin lebih kuat dan kurang mungkin terdisosiasi. Ini digunakan sebagai komponen penting dalam beberapa sistem pendinginan suhu ultra-rendah dan juga sebagai gas etsa ion reaktif dalam aplikasi pemrosesan bahan semikonduktor.
Dalam aplikasi semikonduktor, misalnya, dalam etsa ion reaktif, tetrafluorometana adalah gas fluorokarbon dengan volume terbesar yang digunakan. Dalam aplikasi lain, tetrafluorometana dapat digunakan sebagai gas pembersih ruang plasma, agen ekspansi untuk poliolefin dan poliuretan, sebagai propelan untuk aerosol, sebagai agen pemadam kebakaran, dan sebagai medium isolasi dielektrik gas.

Spesifikasi dan parameter

Skenario Aplikasi

• Digabungkan dengan oksigen untuk mengukir polikristalin, silikon dioksida, silikon nitrit, beberapa logam dan silisida logam
• Dapat digabungkan dengan halokarbon 116 atau digunakan sendiri untuk membersihkan wafer dan ruang
• Proses pengukiran wafer
• Pendingin suhu rendah (R-14)
• Agen ekspansi untuk poliolefin dan poliuretan
• Mikro fabrikasi elektronik
• Propelan untuk aerosol
• Agen pemadam kebakaran
• Medium isolasi dielektrik gas