産業ガス

製品概要:

CF4は別名フルオロメタンとも呼ばれ、無色で非可燃性、無毒性のガスです。化学的に不活性であり、比較的高い地球温暖化係数（GWP = 6,630；温室効果ガスプロトコル、第5次評価報告書AR5）を持っています。
テトラフルオロメタンは非常に安定しており、大気中での寿命は50,000年です。構造的にクロロフルオロカーボンに類似していますが、テトラフルオロメタンはオゾン層を破壊しません。これは、CFCの塩素原子がUV放射によって分解されることで破壊が引き起こされるためです。炭素-フッ素結合は強く、分解しにくいです。超低温冷凍システムの重要な成分として、また半導体材料加工アプリケーションでの反応性イオンエッチングガスとして使用されます。
半導体アプリケーションでは、例えば反応性イオンエッチングにおいて、テトラフルオロメタンは最大量のフルオロカーボンガスとして使用されます。他のアプリケーションでは、テトラフルオロメタンはプラズマチャンバクリーニングガス、ポリオレフィンおよびポリウレタンの膨張剤、エアロゾルの推進剤、消火剤、ガス絶縁媒体として使用することができます。

仕様とパラメータ

アプリケーションシナリオ

• 酸素と組み合わせてポリシリコン、シリコン酸化物、シリコン窒化物、一部の金属および金属シルチドをエッチングする
• ハロカーボン116と組み合わせたり、単独で使用してウエハーとチャンバーを清掃することができる
• ウェハエッチングプロセス
• 低温冷媒 (R-14)
• ポリオレフィンおよびポリウレタンの発泡剤
• 電子部品の微細加工
• エアゾールの推進剤
• 消火剤
• 気体絶縁介质