Bee Gas는 다음과 같은 두 가지 순도를 제공합니다: 99.995% 순도(고순도) 일반 산업 응용을 위한 것과 99.999% 순도(초고순도) 중요한 반도체 제조 공정을 위한 것입니다.
제품 개요:
CF4는 퍼플루오로메탄으로 알려져 있으며, 무색, 비가연성 및 무독성 가스입니다. 화학적으로 비활성이며, 중간 정도의 높은 지구온난화 잠재력(GWP = 6,630; 온실가스 프로토콜, 제5차 평가 보고서 AR5)을 가지고 있습니다.
테트라플루오로메탄은 매우 안정적이며 50,000년의 긴 대기 수명을 가지고 있습니다. 구조적으로 클로로플루오로카본과 유사하지만, 테트라플루오로메탄은 오존층을 고갈시키지 않습니다. 이는 고갈이 CFC의 염소 원자에 의해 발생하며, 이 원자들은 UV 방사선에 의해 분해되기 때문입니다. 탄소-플루오르 결합은 더 강하고 분해될 가능성이 적습니다. 이는 일부 초저온 냉동 시스템의 중요한 구성 요소로 사용되며, 반도체 재료 가공 응용에서 반응성 이온 에칭 가스로도 사용됩니다.
반도체 응용에서, 예를 들어 반응성 이온 에칭에서, 테트라플루오로메탄은 사용되는 가장 큰 부피의 플루오로카본 가스입니다. 다른 응용에서는 테트라플루오로메탄이 플라즈마 챔버 청소 가스, 폴리올레핀 및 폴리우레탄의 팽창제, 에어로졸의 추진제, 소화제, 그리고 기체 유전체 절연 매체로 사용될 수 있습니다.
사양 및 매개 변수
| 실린더 표준 | ISO9809/CE/TPED/DOT |
| 수조 용량 | 2L-60L |
| 가스 순도 | 99.95%-99.999% |
| CAS 번호 | 75-73-0 |
| 위험 물질 수준 | 2.2 |
| UN 코드 | UN1956 |
| 색상 | 맞춤형 |
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