ເກາະນັດສຳລັບວຽກ ');

ບົດສະຖານທີ່ສິນຄ້າ:

CF4 ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກເປັນ perfluoromethane, ເປັນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີ, ບໍ່ໄຟໄຫມ້, ແລະບໍ່ມີສານພິດ. ມັນມີທາດເຄມີ inert ແລະມີທ່າແຮງຂອງພາວະໂລກຮ້ອນໃນລະດັບປານກາງ (GWP = 6,630; ອະນຸສັນຍາອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວ, ບົດລາຍງານການປະເມີນຄັ້ງທີຫ້າ AR5).
Tetrafluoromethane ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍແລະມີຊີວິດຂອງບັນຍາກາດຍາວເຖິງ 50,000 ປີ. ເຖິງແມ່ນວ່າໂຄງສ້າງຄ້າຍຄືກັນກັບ chlorofluorocarbons, tetrafluoromethane ບໍ່ໄດ້ເຮັດໃຫ້ຊັ້ນໂອໂຊນຫມົດໄປ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າການຫຼຸດລົງແມ່ນເກີດມາຈາກປະລໍາມະນູ chlorine ໃນ CFCs, ເຊິ່ງ dissociate ເມື່ອ struck ໂດຍລັງສີ UV. ພັນທະບັດຄາບອນ-ຟໍລູຣີນມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກວ່າ ແລະມີໂອກາດທີ່ຈະແຍກຕົວອອກໜ້ອຍລົງ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນບາງລະບົບເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນອຸນຫະພູມຕ່ໍາສຸດແລະຍັງເປັນອາຍແກັສ etching ion reactive ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸ semiconductor.
ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor, ສໍາລັບການຍົກຕົວຢ່າງ, ໃນການ etching ion reactive, tetrafluoromethane ແມ່ນອາຍແກັສ fluorocarbon ປະລິມານທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດໄດ້ຈ້າງ. ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອື່ນໆ, tetrafluoromethane ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອາຍແກັສທໍາຄວາມສະອາດຫ້ອງ plasma, ຕົວແທນການຂະຫຍາຍສໍາລັບ polyolefins ແລະ polyurethanes, ເປັນ propellant ສໍາລັບ aerosols, ເປັນສານດັບເພີງ, ແລະເປັນຂະຫນາດກາງ insulating dielectric gaseous.

ຂໍ້ ກໍາ ນົດແລະຕົວ ກໍາ ນົດ

ສະຖານທີ່ໃຊ້ງານ

• ປະສົມປະສານກັບອົກຊີເຈນເພື່ອ etch polysilicon, silicon dioxide, silicon nitrite, ໂລຫະບາງແລະ silicides ໂລຫະ
• ສາມາດປະສົມກັບ halocarbon 116 ຫຼືໃຊ້ຢ່າງດຽວເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດ wafers ແລະຫ້ອງ
• ຂະບວນການ etch Wafer
• ຕູ້ເຢັນອຸນຫະພູມຕໍ່າ (R-14)
• ຕົວແທນການຂະຫຍາຍສໍາລັບ polyolefins ແລະ polyurethanes
• microfabrication ເອເລັກໂຕຣນິກ
• Propellant ສໍາລັບ aerosols
• ຕົວແທນດັບເພີງ
• ຂະຫນາດກາງ insulating dielectric gaseous