Gas Perindustrian

Gambaran Ringkas Produk:

CF4 dikenali sebagai perfluorometana, adalah gas tanpa warna, tidak mudah terbakar, dan tidak toksik. Ia secara kimia tidak reaktif dan mempunyai potensi pemanasan global yang agak tinggi (GWP = 6,630; protokol gas rumah hijau, Laporan Penilaian Kelima AR5).
Tetrafluorometana sangat stabil dan mempunyai jangka hayat atmosfera yang panjang iaitu 50,000 tahun. Walaupun secara struktur serupa dengan klorofluorokarbon, tetrafluorometana tidak mengurangkan lapisan ozon. Ini kerana pengurangan disebabkan oleh atom klorin dalam CFC, yang terpisah apabila terkena radiasi UV. Ikatan karbon-fluorin adalah lebih kuat dan kurang mungkin untuk terpisah. Ia digunakan sebagai komponen penting dalam beberapa sistem penyejukan suhu ultra-rendah dan juga sebagai gas pengukiran ion reaktif dalam aplikasi pemprosesan bahan semikonduktor.
Dalam aplikasi semikonduktor, sebagai contoh, dalam pengukiran ion reaktif, tetrafluorometana adalah gas fluorokarbon dengan volum terbesar yang digunakan. Dalam aplikasi lain, tetrafluorometana boleh digunakan sebagai gas pembersihan ruang plasma, agen pengembangan untuk poliolifin dan poliuretana, sebagai propelan untuk aerosol, sebagai agen pemadam kebakaran, dan sebagai medium penebat dielektrik gas.

Spesifikasi dan parameter

Senario Penggunaan

• Digabungkan dengan oksigen untuk mengukir polisilicon, silikon dioksida, silikon nitrit, beberapa logam dan silida logam
• Boleh digabungkan dengan halokarbon 116 atau digunakan sendiri untuk membersihkan wafer dan ruang
• Proses pengukiran wafer
• Pendingin suhu rendah (R-14)
• Ajen pengembangan untuk poliolifin dan poliuretana
• Mikro fabrikasi elektronik
• Propelan untuk aerosol
• Ajen pemadam kebakaran
• Medium penebat dielektrik gas