Industriële gassen

Productoverzicht:

CF4 staat bekend als perfluormethaan, is een kleurloos, niet-ontvlambaar en niet-toxisch gas. Het is chemisch inert en heeft een matig hoog potentieel voor opwarming van de aarde (GWP = 6,630; Protocol inzake broeikasgassen, vijfde beoordelingsverslag AR5).
Tetrafluoromethane is zeer stabiel en heeft een lange levensduur in de atmosfeer van 50.000 jaar. Hoewel het structurele aspect vergelijkbaar is met dat van chlorofluorkoolwaterstoffen, vermindert tetrafluoromethane de ozonlaag niet. Dit komt omdat de uitputting wordt veroorzaakt door de chlooratomen in CFK's, die zich ontkoppelen wanneer ze worden getroffen door UV-straling. Koolstof-fluorbindingen zijn sterker en minder geneigd zich te ontkoppelen. Het wordt gebruikt als belangrijk onderdeel in sommige ultralage temperatuur koelsystemen en ook als reactief ionenatgas in toepassingen voor de verwerking van halfgeleidermaterialen.
In halfgeleiders, bijvoorbeeld bij het etsen van reactieve ionen, is tetrafluoromethane het grootste volume fluorocarbonaatgas dat wordt gebruikt. In andere toepassingen kan tetrafluormethaan worden gebruikt als plasmakamerreinigingsgas, als uitbreidingsmiddel voor polyolefinen en polyurethanen, als brandstof voor aërosolen, als brandblussingsmiddel en als gasvormig dielektrisch isolatiemiddel.

Specificaties en parameters

Toepassingsscenario's

• Gecombineerd met zuurstof om polysilicium, siliciumdioxide, siliciumnitriet, sommige metalen en metaalsiliciden te etsen
• Kan worden gecombineerd met halocarbon 116 of alleen worden gebruikt om wafers en kamers schoon te maken
• Waferetsen
• Koelmiddel voor lage temperatuur (R-14)
• Expansiesmiddel voor polyolefine en polyurethaan
• Microfabricage van elektronica
• Vervuilende stoffen voor aërosolen
• Brandblussingsmiddelen
• Gasachtig dielektrisch isolatiemiddel