Industrigasser

Produktoversikt:

CF4 er kjent som perfluormetan, er en fargeløs, ikke-brennbart og ikke-giftig gass. Den er kjemisk inert og har et moderat høyt globalt oppvarmingspotensial (GWP = 6,630; klimagassprotokoll, femte vurderingsrapport AR5).
Tetrafluormetan er veldig stabil og har en lang atmosfærisk levetid på 50 000 år. Selv om den er strukturelt lik klorfluorkarboner, reduserer ikke tetrafluormetan ozonlaget. Dette er fordi nedbrytningen skyldes kloratomer i CFC-er, som dissosierer når de treffes av UV-stråling. Karbon-fluorbindinger er sterkere og mindre sannsynlig å dissosiere. Den brukes som en viktig komponent i noen ultralave temperaturkjølesystemer og også som en reaktiv ionetseringsgass i prosessering av halvledermaterialer.
I halvlederapplikasjoner, for eksempel i reaktiv ionetsering, er tetrafluormetan den største volumfluorkarbon gassen som brukes. I andre applikasjoner kan tetrafluormetan brukes som en plasma-kammer rengjøringsgass, et ekspansjonsmiddel for polyolefiner og polyuretaner, som en drivgass for aerosoler, som et brannslukkingsmiddel, og som et gassformig dielektrisk isolasjonsmedium.

Spesifikasjoner og parametere

Bruksområder

• Kombinert med oksygen for å etse polysilikon, silisiumdioksid, silisiumnitritt, noen metaller og metallsilicider
• Kan kombineres med halokarbon 116 eller brukes alene for å rengjøre plater og kamre
• Plate etseprosesser
• Lavtemperatur kjølemiddel (R-14)
• Ekspansjonsmiddel for polyolefiner og polyuretaner
• Elektronikk mikroproduksjon
• Drivmiddel for aerosoler
• Brannslukkingsmiddel
• Gassformig dielektrisk isolasjonsmedium