CF4

Przegląd produktu:

CF4 znany jest jako perfluorometan, jest bezbarwnym, niepalnym i nietoksycznym gazem. Jest chemicznie obojętny i ma umiarkowanie wysoki potencjał globalnego ocieplenia (GWP = 6,630; protokół dotyczący gazów cieplarnianych, piąte sprawozdanie z oceny AR5).
Tetrafluorometan jest bardzo stabilny i ma długi okres życia w atmosferze, wynoszący 50 000 lat. Chociaż tetrafluorometan jest podobny pod względem strukturalnym do chlorofluorowęglowodorów, nie niszczy warstwy ozonowej. Wynika to z tego, że wyczerpanie jest spowodowane atomami chloru w CFC, które rozdzielają się w wyniku promieniowania UV. Wiązania węglowo-fluorowe są silniejsze i mniej prawdopodobne do dysocjacji. Jest stosowany jako ważny składnik w niektórych systemach chłodzenia o bardzo niskiej temperaturze, a także jako gaz reakcyjny do etywania jonów w zastosowaniach przetwarzania materiałów półprzewodnikowych.
W zastosowaniach półprzewodnikowych, na przykład w reakcyjnym etasowaniu jonów, tetrafluorometan jest największym gazem fluorowęglowodorkowym. W innych zastosowaniach tetrafluorometan może być stosowany jako gaz do czyszczenia komory plazmowej, środek rozszerzający poliolefiny i poliuretany, jako napęd do aerozoli, środek gazowy do gaśnienia ognia i jako materiał izolacyjny dielektryczny.

Specyfikacje i parametry

Scenariusze zastosowań

• W połączeniu z tlenem wytwarza się politrany krzemu, dwutlenku krzemu, azotynek krzemu, niektóre metale i krzemiany metalowe
• Można go łączyć z halowęglem 116 lub stosować samodzielnie do czyszczenia płytek i komór
• Procesy etsu płytowego
• Chłodnicy niskotemperaturowych (R-14)
• Czynniki rozszerzające dla poliolefinów i poliuretanów
• Mikroprodukcja elektroniki
• Sprężarki do aerozoli
• Środek gaśniczo-ogniowy
• Wymagania dotyczące stosowania metody "zmywania"