Промышленные газы

Обзор продукта:

CF4, известный как перфторметан, является бесцветным, невоспламеняющимся и нетоксичным газом. Он химически инертен и имеет умеренно высокий потенциал глобального потепления (ППП = 6,630; Протокол парниковых газов, Пятый оценочный отчет AR5).
Тетрафторметан очень стабилен и имеет длительный атмосферный срок службы в 50 000 лет. Хотя он структурно похож на хлорфторуглероды, тетрафторметан не истощает озоновый слой. Это связано с тем, что истощение вызывается атомами хлора в ХФУ, которые диссоциируют при воздействии УФ-излучения. Связи углерод-фтор более прочные и менее подвержены диссоциации. Он используется как важный компонент в некоторых системах ультранизкотемпературного холодильного оборудования, а также как газ для реактивной ионной травления в процессах обработки полупроводниковых материалов.
В полупроводниковых приложениях, например, в реактивной ионной травке, тетрафторметан является газом-фторуглеродом с наибольшим объемом. В других приложениях тетрафторметан может использоваться как газ для очистки плазменных камер, как агент расширения для полиолефинов и полиуретанов, как пропеллент для аэрозолей, как огнетушащий агент и как газообразный диэлектрический изоляционный материал.

Спецификации и параметры

Сценарии применения

• В сочетании с кислородом для травления поликремния, диоксида кремния, нитрида кремния, некоторых металлов и металлических силицидов
• Может быть сочетан с галогенуглеродом 116 или использован отдельно для очистки пластин и камер
• Процессы травления пластин
• Хладагент низкой температуры (R-14)
• Расширительный агент для полиолефинов и полиуретанов
• Микрообработка электроники
• Пропеллент для аэрозолей
• Огнетушащий агент
• Газовая диэлектрическая изоляционная среда