Priemyselné plyny

Prehľad produktu:

CF4 je známy ako perfluorometan, je bezfarebný, nehoľný a netoxický plyn. Je chemicky inertný a má stredne vysoký potenciál globálneho otepľovania (GWP = 6,630; protokol o skleníkových plynoch, piata správa o hodnotení AR5).
Tetrafluorometan je veľmi stabilný a má dlhú životnosť v atmosfére 50 000 rokov. Hoci je tetrafluorometan štruktúrne podobný chlorofluoruhlovodíkom, neoslabuje ozónovú vrstvu. Je to spôsobené tým, že atómy chloru v CFC sa pri UV žiarení rozdeľujú. Uhlíko-fluórové väzby sú silnejšie a menej pravdepodobné, že sa rozlúčia. Používa sa ako dôležitá zložka v niektorých ultra nízkoteplotných chladiacich systémoch a tiež ako reaktívny iónový etzovací plyn v aplikáciách na spracovanie polovodičových materiálov.
V aplikáciách polovodičov, napríklad pri reakčnom iónovom lepení, je tetrafluorometan najväčším objemovým fluóruhlovodíkovým plynom. V iných aplikáciách sa tetrafluorometan môže používať ako čistiaci plyn v plazmatických komorách, ako expanzátor pre polyolefíny a polyurétany, ako pohonné látky pre aerosoly, ako hasiace činidlo a ako plynné dielektrické izolačné médium.

Špecifikácie a parametre

Scenáre aplikácie

• V kombinácii s kyslíkom na leptanie polysilikónu, oxidu kremičitého, kremičitého nitridu, niektorých kovov a kovových silícií
• Môže byť kombinovaný s halokarbónom 116 alebo použitý samostatne na čistenie wafrov a komôr
• Procesy leptania wafrov
• Chladivo pri nízkych teplotách (R-14)
• Expanzný agent pre polyolefíny a polyuretány
• Mikrofabrikácia elektroniky
• Pohonná látka pre aerosóly
• Prostriedok na hasenie požiaru
• Plynné dielektrické izolačné médium