Industrijski plini

Pregled produkta:

CF4, znan kot perfluorometan, je brezbarvni, nemagljivi in netoksični plin. Je kemično inertna in ima zmerno visok potencial za globalno segrevanje (GWP = 6,630; protokol o toplogrednih plinih, peto poročilo o oceni AR5).
Tetrafluorometan je zelo stabilen in ima dolgo življenjsko dobo v ozračju 50.000 let. Čeprav je tetrafluorometan strukturno podoben klorofluorogljikovodikom, ozonski plašč ne razdežuje. To je zato, ker je zmanjšanje posledica klorjev atomov v CFC, ki se razdružijo, ko jih zadene UV sevanje. Vzdevek ogljik-fluor je močnejši in manj verjetno se razdvaja. Uporablja se kot pomembna komponenta v nekaterih hladilnih sistemih z ultranizko temperaturo in tudi kot reaktivni ionni etzni plin v aplikacijah za obdelavo polprevodnih materialov.
V polprevodniških aplikacijah, na primer pri reaktivnem jonskem rezanju, je tetrafluorometan največji obseg fluorogljikovogljikovogljikov plin. V drugih aplikacijah se lahko tetrafluorometan uporablja kot plin za čiščenje plazemskih komor, za širjenje poliolefinov in poliuretanov, kot pogonsko sredstvo za aerosole, za gašenje požara in kot plinasti dielektrični izolirni medij.

Specifikacije in parametri

Scenariji uporabe

• V kombinaciji z kisikom se izrezka poli silicij, silicijev dioksid, silicijev nitrit, nekatere kovine in silikidi kovin
• Lahko se kombinira z halocarbonom 116 ali uporablja samostojno za čiščenje ploščic in komor
• Proces izrezovanja ploščic
• Hladilno sredstvo za nizke temperature (R-14)
• Razširjevalnik za poliolefine in poliuretana
• Mikroizdelava elektronike
• Gorivo za aerosol
• Zažigalnik
• Izolacijsko plinsko dielektrično sredstvo