CF4

CF4

Bee Gas erbjuder två renheter som följer: 99,995% renhet (hög renhet) för allmänna industriella tillämpningar och 99,999% renhet (ultra-hög renhet) för kritiska halvledartillverkningsprocesser.

Produktdescription

CF4 supplier

Produktöversikt:

CF4 är känt som perfluormetan, är en färglös, icke-brännbar och icke-toxisk gas. Det är kemiskt inert och har en måttligt hög global uppvärmningspotential (GWP = 6,630; växthusgasprotokoll, femte utvärderingsrapport AR5).
Tetrafluormetan är mycket stabilt och har en lång atmosfärisk livslängd på 50 000 år. Även om det är strukturellt liknande klorfluorkolväten,
I halvledarapplikationer, till exempel i reaktiv jonetsning, är tetrafluormetan den största volymen av fluorokarbongas som används.

Specifikationer och parametrar

Cylinder standard	ISO9809/CE/TPED/DOT
Vattenvolym	2L-60L
Gas renhet	99,95%-99,999%
CAS nr	75-73-0
Nivå på farligt gods	2.2
FN-kod	UN1956
Färg	Anpassad

Tillämpningsscenarier

Kombinerad med syre för att etsa polysilikon, kiseloxid, kiselnitrit, vissa metaller och metalsilicider
Kan kombineras med halokarbon 116 eller användas ensam för att rengöra wafers och kammare
Waferetsningsprocesser
Lågtemperaturkylmedel (R-14)
Expansionsmedel för polyolefiner och polyuretaner
Elektronikmikrofabrikation
Drivmedel för aerosolprodukter
Brandbekämpningsmedel
Gasformigt dielektriskt isoleringsmedium