ก๊าซอุตสาหกรรม

ภาพรวมผลิตภัณฑ์:

CF4 เป็นที่รู้จักในชื่อเพอร์ฟลูออโรมีเทน เป็นก๊าซไม่มีสี ไม่ติดไฟ และไม่เป็นพิษ มันมีความเฉื่อยทางเคมีและมีศักยภาพในการทำให้โลกร้อนสูงปานกลาง (GWP = 6,630; โปรโตคอลก๊าซเรือนกระจก, รายงานการประเมินครั้งที่ห้า AR5)
เทตราฟลูออโรมีเทนมีความเสถียรสูงและมีอายุการใช้งานในชั้นบรรยากาศนานถึง 50,000 ปี แม้ว่าจะมีโครงสร้างคล้ายกับคลอโรฟลูออโรคาร์บอน แต่เทตราฟลูออโรมีเทนไม่ทำให้ชั้นโอโซนเสื่อมโทรม นี่เป็นเพราะการเสื่อมโทรมเกิดจากอะตอมคลอรีนใน CFCs ซึ่งแยกตัวเมื่อถูกแสง UV การเชื่อมต่อคาร์บอน-ฟลูออรีนมีความแข็งแรงและมีโอกาสน้อยที่จะเกิดการแยกตัว มันถูกใช้เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในระบบทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำมากบางประเภทและยังใช้เป็นก๊าซกัดกร่อนไอออนที่มีปฏิกิริยาในกระบวนการผลิตวัสดุเซมิคอนดักเตอร์
ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ในการกัดกร่อนไอออนที่มีปฏิกิริยา เทตราฟลูออโรมีเทนเป็นก๊าซฟลูออโรคาร์บอนที่มีปริมาณมากที่สุดที่ใช้ ในการใช้งานอื่น ๆ เทตราฟลูออโรมีเทนสามารถใช้เป็นก๊าซทำความสะอาดห้องพลาสมา ตัวแทนขยายสำหรับโพลีโอเลฟินและโพลียูรีเทน เป็นตัวขับเคลื่อนสำหรับสเปรย์ และเป็นตัวดับเพลิง รวมถึงเป็นสื่อฉนวนไดอิเล็กทริกในรูปแบบก๊าซ

ข้อมูลจำเพาะและพารามิเตอร์

สถานการณ์การใช้งาน

• รวมกับออกซิเจนเพื่อกัดกร่อนโพลีซิลิคอน, ซิลิคอนไดออกไซด์, ซิลิคอนไนไตรด์, โลหะบางชนิดและโลหะซิลิไซด์
• สามารถรวมกับฮาโลคาร์บอน 116 หรือใช้เพียงอย่างเดียวเพื่อทำความสะอาดเวเฟอร์และห้อง
• กระบวนการกัดกร่อนเวเฟอร์
• สารทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำ (R-14)
• สารขยายสำหรับโพลีโอเลฟินและโพลียูรีเทน
• การสร้างไมโครอิเล็กทรอนิกส์
• เชื้อเพลิงสำหรับสเปรย์
• สารดับเพลิง
• สื่อฉนวนไดอิเล็กทริกในรูปก๊าซ