Mga Gas na Pang-industriya

Panimula ng Produkto:

Ang CF4 ay kilala bilang perfluoromethane, ito ay isang walang kulay, hindi nasusunog, at hindi nakakalason na gas. Ito ay kemikal na inert at may katamtamang mataas na potensyal para sa global warming (GWP = 6,630; Greenhouse gas protocol, Fifth Assessment Report AR5).
Ang tetrafluoromethane ay napaka-stable at may mahabang buhay sa atmospera na 50,000 taon. Bagaman structurally katulad ng chlorofluorocarbons, ang tetrafluoromethane ay hindi nagpapababa ng ozone layer. Ito ay dahil ang pagbawas ay sanhi ng mga chlorine atoms sa CFCs, na nagdidissociate kapag tinamaan ng UV radiation. Ang mga carbon-fluorine bonds ay mas malakas at mas hindi malamang mag-dissociate. Ito ay ginagamit bilang isang mahalagang bahagi sa ilang ultra-low temperature refrigeration systems at bilang isang reactive ion etching gas sa semiconductor materials processing applications.
Sa mga aplikasyon ng semiconductor, halimbawa, sa reactive ion etching, ang tetrafluoromethane ang pinakamalaking volume fluorocarbon gas na ginagamit. Sa iba pang mga aplikasyon, ang tetrafluoromethane ay maaaring gamitin bilang isang plasma chamber cleaning gas, isang expansion agent para sa polyolefins at polyurethanes, bilang isang propellant para sa aerosols, bilang isang fire extinguishing agent, at bilang isang gaseous dielectric insulating medium.

Mga Espesipikasyon at Parameter

Mga Senaryo ng Aplikasyon

• Pinagsama sa oxygen upang i-etch ang polysilicon, silicon dioxide, silicon nitrite, ilang mga metal at metal silicides
• Maaaring pagsamahin sa halocarbon 116 o gamitin nang mag-isa upang linisin ang mga wafer at silid
• Mga proseso ng wafer etch
• Mababang temperatura na refrigerant (R-14)
• Ahente ng pagpapalawak para sa polyolefins at polyurethanes
• Microfabrication ng electronics
• Propellant para sa aerosols
• Ahente ng pag-apula ng apoy
• Gas na dielectrik insulating medium