Промислові гази

Огляд продукту:

CF4, відомий як перфторметан, є безбарвним, негорючим і нетоксичним газом. Він хімічно інертний і має помірно високий потенціал глобального потепління (GWP = 6630; протокол парникових газів, п’ятий звіт про оцінку AR5).
Тетрафторметан дуже стабільний і має тривалий термін існування в атмосфері – 50 000 років. Хоча тетрафторметан структурно подібний до хлорфторвуглеців, він не руйнує озоновий шар. Це тому, що виснаження спричинене атомами хлору в CFC, які дисоціюють під дією УФ-випромінювання. Вуглець-фторні зв’язки міцніші й менш схильні до розриву. Він використовується як важливий компонент у деяких наднизькотемпературних холодильних системах, а також як реактивний іонний травильний газ для обробки напівпровідникових матеріалів.
У напівпровідникових системах, наприклад, у реактивному іонному травленні, тетрафторметан є найбільшим за обсягом фторвуглецевим газом, який використовується. В інших сферах застосування тетрафторметан можна використовувати як газ для очищення плазмової камери, агент розширення для поліолефінів і поліуретанів, як пропелент для аерозолів, як вогнегасний агент і як газоподібний діелектричний ізоляційний засіб.

Технічні характеристики та параметри

Сценарії застосування

• Об'єднується з киснем для етчингу полісиліцію, силіциду кисню, нитріду силіцію, деяких металів та металевих силіцидів
• Може бути об'єднаний з галогеналканом 116 або використовуватися окремо для очищення пластибин та камер
• Процеси етчингу пластибин
• Холодильний агент при низьких температурах (R-14)
• Агент розширення для поліолефінів та поліуретанів
• Мікрофабрикація електронних компонентів
• Випаровуюча речовина для аерозольних спрейів
• Засіб угашення вогню
• Газовий диелектричний ізоляційний середовище