Khí công nghiệp

Tổng quan sản phẩm:

CF4 được biết đến với tên gọi perfluoromethane, là một loại khí không màu, không cháy và không độc hại. Nó hóa học trơ và có tiềm năng ấm lên toàn cầu (GWP = 6,630; giao thức khí nhà kính, Báo cáo đánh giá lần thứ năm AR5).
Tetrafluoromethane rất ổn định và có thời gian tồn tại trong khí quyển lên đến 50,000 năm. Mặc dù có cấu trúc tương tự như chlorofluorocarbons, tetrafluoromethane không làm suy giảm tầng ozone. Điều này là do sự suy giảm được gây ra bởi các nguyên tử clo trong CFCs, mà phân ly khi bị tác động bởi bức xạ UV. Liên kết carbon-fluor mạnh hơn và ít có khả năng phân ly hơn. Nó được sử dụng như một thành phần quan trọng trong một số hệ thống làm lạnh siêu thấp và cũng như một khí khắc ion phản ứng trong các ứng dụng xử lý vật liệu bán dẫn.
Trong các ứng dụng bán dẫn, ví dụ, trong khắc ion phản ứng, tetrafluoromethane là khí fluorocarbon có khối lượng lớn nhất được sử dụng. Trong các ứng dụng khác, tetrafluoromethane có thể được sử dụng như một khí làm sạch buồng plasma, một tác nhân mở rộng cho polyolefin và polyurethane, như một chất đẩy cho aerosol, như một tác nhân dập lửa, và như một môi trường cách điện khí.

Thông số kỹ thuật và tham số

Các kịch bản ứng dụng

• Kết hợp với oxy để khắc polysilicon, silicon dioxide, silicon nitride, một số kim loại và silicide kim loại
• Có thể kết hợp với halocarbon 116 hoặc sử dụng riêng để làm sạch wafer và buồng
• Quy trình khắc wafer
• Chất làm lạnh nhiệt độ thấp (R-14)
• Chất tạo bọt cho polyolefin và polyurethane
• Chế tạo vi điện tử
• Chất đẩy cho bình xịt
• Chất chữa cháy
• Môi trường cách điện khí