Промишлени газове

Преглед на продукта:

CF4, известен като перфлуорометан, е безцветен, незапалим и нетоксичен газ. Той е химически инертен и има умерено висок потенциал за глобално затопляне (GWP = 6,630; Протокол за парникови газове, Пети оценъчен доклад AR5).
Тетрафлуорометанът е много стабилен и има дълъг атмосферно време на живот от 50 000 години. Въпреки че е структурно подобен на хлорфлуоровъглеводородите, тетрафлуорометанът не изчерпва озоновия слой. Това е така, защото изчерпването се причинява от хлорните атоми в CFC, които се дисоциират, когато бъдат ударени от UV радиация. Връзките въглерод-флуор са по-силни и по-малко вероятно да се дисоциират. Той се използва като важен компонент в някои системи за ултра-ниска температура и също така като реактивен газ за ецване на йони в приложения за обработка на полупроводникови материали.
В полупроводниковите приложения, например, в реактивното йонно ецване, тетрафлуорометанът е най-голямото количество флуоровъглеводороден газ, използван. В други приложения, тетрафлуорометанът може да се използва като газ за почистване на плазмени камери, разширителен агент за полиолефини и полиуретани, като пропелент за аерозоли, като агент за гасене на пожар и като газообразен диелектричен изолиращ материал.

Спецификации и параметри

Сценарии за приложение

• В комбинация с кислород за гравиране на полисиликон, силициев диоксид, силициев нитрид, някои метали и метални силициди
• Може да се комбинира с халокарбон 116 или да се използва самостоятелно за почистване на вафли и камери
• Процеси за гравиране на вафли
• Хладилен агент с ниска температура (R-14)
• Разширителен агент за полиолефини и полиуретани
• Микрофабрикация на електроника
• Гориво за аерозоли
• Агент за гасене на пожар
• Газообразна диелектрическа изолационна среда