Průmyslové plyny

Přehled produktu:

CF4 je známý jako perfluormethan, je to bezbarvý, nehořlavý a netoxický plyn. Je chemicky inertní a má mírně vysoký potenciál globálního oteplování (GWP = 6,630; Protokol skleníkových plynů, Pátá hodnotící zpráva AR5).
Tetrafluormethan je velmi stabilní a má dlouhou atmosférickou životnost 50 000 let. Ačkoli je strukturálně podobný chlorofluorcarbonům, tetrafluormethan nevyčerpává ozonovou vrstvu. To je způsobeno tím, že vyčerpání je způsobeno atomy chloru v CFC, které se disociují, když jsou zasaženy UV zářením. Vazby uhlík-fluor jsou silnější a méně pravděpodobné, že se disociují. Používá se jako důležitá složka v některých ultranízkoteplotních chladicích systémech a také jako plyn pro reaktivní iontové leptání v aplikacích zpracování polovodičových materiálů.
V polovodičových aplikacích, například při reaktivním iontovém leptání, je tetrafluormethan největším objemem fluorokarbonového plynu používaného. V jiných aplikacích může být tetrafluormethan použit jako plyn pro čištění plazmových komor, expanzní činidlo pro polyolefiny a polyuretany, jako pohonná látka pro aerosoly, jako hasicí prostředek a jako plynný dielektrický izolační prostředek.

Specifikace a parametry

Scénáře aplikací

• Kombinován s kyslíkem pro leptání polysilikonu, oxidu křemičitého, křemičitého nitridu, některých kovů a kovových silikidů
• Může být kombinován s halokarbonem 116 nebo použit samostatně k čištění waferů a komor
• Procesy leptání waferů
• Chladivo při nízkých teplotách (R-14)
• Expanzní činidlo pro polyolefiny a polyurethany
• Mikrofabrikace elektroniky
• Pohonná látka pro aerosoly
• Prostředek pro hašení požárů
• Plynný dielektrický izolační prostředek