Industriegase

Produktübersicht:

CF4 ist als Perfluormethan bekannt und ist ein farbloses, nicht brennbares und ungiftiges Gas. Es ist chemisch inert und hat ein mäßig hohes Erderwärmungspotenzial (GWP = 6,630; Treibhausgasprotokoll, fünfter Bewertungsbericht AR5).
Tetrafluormethan ist sehr stabil und hat eine lange Lebensdauer von 50.000 Jahren. Obwohl das Tetrafluormethan strukturell den Chlorfluorkohlenwasserstoffen ähnelt, schmälert es die Ozonschicht nicht. Dies liegt daran, daß die Abnahme durch die Chloratome in CFKW verursacht wird, die sich bei UV-Strahlung lösen. Kohlenstoff-Fluor-Bindungen sind stärker und weniger wahrscheinlich zu trennen. Es wird als wichtiger Bestandteil in einigen Kühlsystemen mit ultra-niedrigen Temperaturen und auch als reaktives Ion-Ätzgas in Anwendungen zur Verarbeitung von Halbleitermaterialien verwendet.
In Halbleiteranwendungen, zum Beispiel beim Reaktions-Ionen-Etzen, ist Tetrafluormethan das größte Volumenfluorkohlenstoffgas. In anderen Anwendungen kann Tetrafluormethan als Plasmakammerreinigungsgas, als Expansionsmittel für Polyolefine und Polyurethanen, als Treibstoff für Aerosole, als Feuerlöschmittel und als gasförmiges dielektrisches Isoliermedium verwendet werden.

Spezifikationen und Parameter

Anwendungsszenarien

• Kombiniert mit Sauerstoff, um Polysilicium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrit, einige Metalle und Metallsilicide zu erzeugen
• Kann mit Halocarbon 116 kombiniert oder allein zur Reinigung von Wafern und Kammern verwendet werden
• Wafer-Ätzverfahren
• Niedertemperaturkältemittel (R-14)
• Expansionsmittel für Polyolefine und Polyurethane
• Mikrofabrikation von Elektronik
• Treibstoff für Aerosole
• Feuerlöschmittel
• Gasförmiges dielektrisches Isoliermedium