Gases industriales

Descripción del producto:

CF4 es conocido como perfluorometano, es un gas incoloro, no inflamable y no tóxico. Es químicamente inerte y tiene un potencial de calentamiento global moderadamente alto (GWP = 6,630; Protocolo de gases de efecto invernadero, Quinto Informe de Evaluación AR5).
El tetrafluorometano es muy estable y tiene una larga vida atmosférica de 50,000 años. Aunque estructuralmente similar a los clorofluorocarbonos, el tetrafluorometano no agota la capa de ozono. Esto se debe a que el agotamiento es causado por los átomos de cloro en los CFC, que se disocian cuando son golpeados por la radiación UV. Los enlaces carbono-flúor son más fuertes y menos propensos a disociarse. Se utiliza como un componente importante en algunos sistemas de refrigeración de ultra baja temperatura y también como un gas de grabado por iones reactivos en aplicaciones de procesamiento de materiales semiconductores.
En aplicaciones de semiconductores, por ejemplo, en el grabado por iones reactivos, el tetrafluorometano es el gas fluorocarbono de mayor volumen empleado. En otras aplicaciones, el tetrafluorometano puede ser utilizado como un gas de limpieza de cámaras de plasma, un agente de expansión para poliolefinas y poliuretanos, como propulsor para aerosoles, como agente extintor de incendios y como medio aislante dieléctrico gaseoso.

Especificaciones y parámetros

Escenarios de Aplicación

• Combinado con oxígeno para grabar polisilicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio, algunos metales y siliciuros metálicos
• Puede combinarse con halocarbono 116 o usarse solo para limpiar obleas y cámaras
• Procesos de grabado de obleas
• Refrigerante de baja temperatura (R-14)
• Agente de expansión para poliolefinas y poliuretanos
• Microfabricación de electrónica
• Propulsor para aerosoles
• Agente extintor de incendios
• Medio aislante dieléctrico gaseoso