CF4

Tuotteen yleiskatsaus:

CF4 tunnetaan perfluorimetaanina, se on väritön, palamaton ja myrkytön kaasu. Se on kemiallisesti inertti ja sillä on kohtuullisen korkea globaali lämpenemispotentiaali (GWP = 6,630; kasvihuonekaasuprotokolla, viides arviointiraportti AR5).
Tetrafluorimetaani on erittäin vakaa ja sillä on pitkä ilmakehän elinikä, 50 000 vuotta. Vaikka se on rakenteellisesti samanlainen kuin kloorifluorihiilivedyt, tetrafluorimetaani ei heikennä otsonikerrosta. Tämä johtuu siitä, että heikentäminen johtuu CFC:iden klooriatomeista, jotka hajoavat UV-säteilyn iskiessä. Hiili-fluori-sidokset ovat vahvempia ja vähemmän todennäköisiä hajoamaan. Sitä käytetään tärkeänä komponenttina joissakin erittäin matalan lämpötilan jäähdytysjärjestelmissä ja myös reaktiivisen ioni-etsauksen kaasuna puolijohdemateriaalien käsittelysovelluksissa.
Puolijohdesovelluksissa, esimerkiksi reaktiivisessa ioni-etsauksessa, tetrafluorimetaani on käytetyin fluorihiilikaasu. Muissa sovelluksissa tetrafluorimetaania voidaan käyttää plasmakammion puhdistuskäyttöön, laajentamisaineena polyolefiineille ja polyuretaaneille, aerosoleiden propellanttina, sammutusaineena ja kaasumaisena dielektrisenä eristysmateriaalina.

Tekniset tiedot ja parametrit

Sovellusskenaariot

• Yhdistettynä happeen, se syövyttää polysilikonia, piidioksidia, piinitriittiä, joitakin metalleja ja metallisilicidejä
• Voidaan yhdistää halokarboniin 116 tai käyttää yksin waferien ja kammioden puhdistamiseen
• Waferin syövytysprosessit
• Alhaisen lämpötilan jäähdytin (R-14)
• Laajentaja polyolefiineille ja polyuretaaneille
• Elektroniikan mikrovalmistus
• Propellantti aerosoleille
• Palonsammutusainetta
• Kaasuinen dielektrinen eristysmateriaali