Gaz industriels

Aperçu du produit :

Le CF4 est connu sous le nom de tétrafluorométhane, c'est un gaz ininflammable, incolore et non toxique. Il est chimiquement inerte et possède un potentiel de réchauffement global modérément élevé (GWP = 6 630 ; Protocole sur les gaz à effet de serre, Cinquième Rapport d'évaluation AR5).
Le tétrafluorométhane est très stable et a une durée de vie atmosphérique longue de 50 000 ans. Bien que structuralement similaire aux chlorofluorocarbures, le tétrafluorométhane ne déplete pas la couche d'ozone. Cela est dû au fait que la dépletion est causée par les atomes de chlore dans les CFC, qui se dissocient lorsqu'ils sont frappés par des rayonnements UV. Les liaisons carbone-fluor sont plus fortes et moins susceptibles de se dissocier. Il est utilisé comme composant important dans certains systèmes de réfrigération à ultra-basse température et également comme gaz d'échantillonnage ionique réactif dans les applications de traitement de matériaux semi-conducteurs.
Dans les applications semi-conductrices, par exemple, dans l'échantillonnage ionique réactif, le tétrafluorométhane est le fluorocarbone gazeux employé en plus grande quantité. Dans d'autres applications, le tétrafluorométhane peut être utilisé comme gaz de nettoyage de chambre à plasma, agent d'expansion pour les polyoléfines et les polyuréthanes, comme propulseur pour les aérosols, comme agent extincteur d'incendie, et comme milieu isolant diélectrique gazeux.

Spécifications et paramètres

Scénarios d'application

• Combiné avec l'oxygène pour égrainer le polysilicium, le dioxyde de silicium, le nitrite de silicium, certains métaux et silicides de métaux
• Peut être combiné avec le halocarbone 116 ou utilisé seul pour nettoyer les galettes et les chambres
• Processus d'égrainage des galettes
• Réfrigérant à basse température (R-14)
• Agent d'expansion pour polyoléfines et polyuréthanes
• Microfabrication électronique
• Propulseur pour aérosols
• Agent extincteur
• Moyen d'isolation diélectrique gazeux