Ipari gázok

Termék áttekintés:

A CF4-et perfluor-metánként ismerik, színtelen, nem gyúlékony és nem toxikus gáz. Kémiailag inert, és mérsékelten magas globális felmelegedési potenciállal rendelkezik (GWP = 6,630; Üvegházhatású gáz protokoll, Ötödik Értékelő Jelentés AR5).
A tetrafluorometán nagyon stabil, és hosszú légköri élettartama 50 000 év. Bár szerkezetileg hasonlít a klór-fluor-szénhidrogénekhez, a tetrafluorometán nem csökkenti az ózonréteget. Ennek az az oka, hogy a csökkenést a CFC-kben található klóratomok okozzák, amelyek UV-sugárzás hatására disszociálnak. A szén-fluor kötések erősebbek és kevésbé valószínű, hogy disszociálnak. Fontos összetevőként használják néhány ultra-alacsony hőmérsékletű hűtőrendszerben, valamint reaktív ionmaratás gázként félvezető anyagok feldolgozási alkalmazásaiban.
Félvezető alkalmazásokban, például reaktív ionmaratás során, a tetrafluorometán a legnagyobb térfogatú fluorozott szénhidrogén gáz. Más alkalmazásokban a tetrafluorometán használható plazmakamra tisztító gázként, expanziós anyagként polioléfineknél és poliuretánoknál, aeroszolok hajtóanyagaként, tűzoltó anyagként, és gáz halmazállapotú dielektromos szigetelő közegként.

Specifikációk és paraméterek

Alkalmazási forgatókönyvek

• Oxigénnel kombinálva poliszilícium, szilícium-dioxid, szilícium-nitrit, néhány fém és fém-szilícium-oxid maratására
• Halogénszénnel 116 kombinálva vagy önállóan használva a waferek és kamrák tisztítására
• Waferek maratási folyamatok
• Alacsony hőmérsékletű hűtőközeg (R-14)
• Terjeszkedési ügynök polioléfineknél és poliuretánoknál
• Elektronikai mikrofabrikáció
• Hajtóanyag aeroszolokhoz
• Tűzoltó anyag
• Gáznemű dielektromos szigetelő közeg