Gas industriali

Panoramica del prodotto:

Il CF4 è conosciuto come perfluorometano, è un gas incolore, non infiammabile e non tossico. È chimicamente inerte e ha un potenziale di riscaldamento globale moderatamente alto (GWP = 6.630; Protocollo sui gas serra, Quinto Rapporto di Valutazione AR5).
Il tetrafluorometano è molto stabile e ha una lunga vita atmosferica di 50.000 anni. Anche se strutturalmente simile ai clorofluorocarburi, il tetrafluorometano non depleta lo strato di ozono. Questo perché il deperimento è causato dagli atomi di cloro nei CFC, che si dissociano quando colpiti da radiazioni UV. I legami carbonio-fluoro sono più forti e meno propensi a dissociarsi. Viene utilizzato come componente importante in alcuni sistemi di refrigerazione a ultra-bassa temperatura e anche come gas di incisione ionica reattiva nelle applicazioni di lavorazione dei materiali semiconduttori.
Nelle applicazioni semiconduttori, ad esempio, nell'incisione ionica reattiva, il tetrafluorometano è il gas fluorocarbonico a maggior volume impiegato. In altre applicazioni, il tetrafluorometano può essere utilizzato come gas per la pulizia delle camere al plasma, come agente espandente per poliolefine e poliuretani, come propellente per aerosol, come agente estinguente e come mezzo isolante dielettrico gassoso.

Specifiche e parametri

Scenari applicativi

• Combinato con ossigeno per incidere il polisilicio, il biossido di silicio, il nitruro di silicio, alcuni metalli e silicati metallici
• Può essere combinato con l'alocarburo 116 o utilizzato da solo per pulire wafer e camere
• Processi di incisione dei wafer
• Refrigerante a bassa temperatura (R-14)
• Agente di espansione per poliolefine e poliuretani
• Microfabbricazione elettronica
• Propellente per aerosol
• Agente estinguente per incendi
• Mezzo isolante dielettrico gassoso