Gases Industriais

Visão geral do produto:

O CF4 é conhecido como perfluorometano, é um gás incolor, não inflamável e não tóxico. É quimicamente inerte e tem um potencial de aquecimento global moderadamente elevado (GWP = 6,630; protocolo de gases com efeito de estufa, quinto relatório de avaliação AR5).
O tetrafluorometano é muito estável e tem uma longa vida na atmosfera de 50.000 anos. Embora seja estruturalmente semelhante aos clorofluorocarbonos, o tetrafluorometano não esgota a camada de ozônio. Isto ocorre porque a depleção é causada pelos átomos de cloro nos CFCs, que se dissociam quando atingidos pela radiação UV. As ligações carbono-fluorino são mais fortes e menos propensas a se dissociarem. É utilizado como um componente importante em alguns sistemas de refrigeração de temperatura ultra-baixa e também como gás de gravação de íons reativos em aplicações de processamento de materiais semicondutores.
Em aplicações de semicondutores, por exemplo, na gravação de íons reativos, o tetrafluorometano é o maior gás fluorocarboneto em volume empregado. Em outras aplicações, o tetrafluorometano pode ser usado como gás de limpeza de câmara de plasma, um agente de expansão para poliolefinas e poliuretanos, como propelente para aerossóis, como agente extintor de incêndio e como um meio isolante dielétrico gasoso.

Especificações e parâmetros

Cenários de Aplicação

• Combinado com oxigénio para gravar o polisílico, dióxido de silício, nitrito de silício, alguns metais e silicetos metálicos
• Pode ser combinado com halocarbon 116 ou utilizado isoladamente para limpar wafers e câmaras
• Processos de gravação de wafer
• Agente refrigerante de baixa temperatura (R-14)
• Agente de expansão para poliolefinas e poliuretanos
• Microfabricação de eletrónica
• Propelente para aerossóis
• Agentes de extinção de incêndio
• Medium isolante dieléctrico gasoso