Gaze industriale

Prezentare generală a produsului:

CF4 este cunoscut sub numele de perfluormetan, este un gaz incolor, neinflamabil și netoxic. Este inert din punct de vedere chimic și are un potențial de încălzire globală moderat ridicat (GWP = 6.630; Protocolul privind gazele cu efect de seră, Raportul de evaluare al cincilea AR5).
Tetrafluormetanul este foarte stabil și are o durată de viață lungă în atmosferă de 50.000 de ani. Deși structural similar cu clorofluorocarburile, tetrafluormetanul nu epuizează stratul de ozon. Acest lucru se datorează faptului că epuizarea este cauzată de atomii de clor din CFC, care se disociază atunci când sunt loviti de radiația UV. Legăturile carbon-fluor sunt mai puternice și mai puțin probabil să se disocieze. Este folosit ca o componentă importantă în unele sisteme de refrigerare cu temperatură ultra-joasă și, de asemenea, ca gaz de gravare ionică reactivă în aplicațiile de prelucrare a materialelor semiconductoare.
În aplicațiile semiconductoare, de exemplu, în gravarea cu ioni reactivi, tetrafluormetanul este cel mai mare volum de gaz fluorocarbon utilizat. În alte aplicații, tetrafluormetanul poate fi utilizat ca gaz de curățare a camerei cu plasmă, agent de expansiune pentru poliolefine și poliuretani, ca propulsor pentru aerosoli, ca agent de stingere a incendiilor și ca mediu izolator dielectric gazos.

Specificații și parametri

Scenarii de aplicare

• Combinat cu oxigen pentru a grava polisilicon, dioxid de siliciu, nitrit de siliciu, unele metale și siliciuri metalice
• Poate fi combinat cu halocarbon 116 sau utilizat singur pentru a curăța waferele și camerele
• Procese de gravare a waferelor
• Refrigerant la temperaturi scăzute (R-14)
• Agent de expansiune pentru poliolefine și poliuretan
• Microfabricarea electronicelor
• Propulsor pentru aerosoli
• Agent de stingere a incendiilor
• Mediu izolator dielectric gazos