Индустријски гасови

Pregled proizvoda:

CF4 je poznat kao perfluorometan, bezbojan je, nezapalan i netoksičan gas. Hemijski je inertan i ima umereno visok potencijal globalnog zagrevanja (GWP = 6,630; Protokol stakleničkih gasova, Peti izveštaj o proceni AR5).
Tetrafluorometan je veoma stabilan i ima dug vek trajanja u atmosferi od 50.000 godina. Iako je strukturno sličan hlorofluorougljenicima, tetrafluorometan ne iscrpljuje ozonski omotač. To je zato što iscrpljenje uzrokuju atomi hloru u CFC-ima, koji se disociraju kada ih udari UV zračenje. Ugljenik-fluor veze su jače i manje verovatno da će se disocirati. Koristi se kao važna komponenta u nekim sistemima za hlađenje na ultra-niskim temperaturama, kao i kao gas za reaktivno ionesko etching u aplikacijama obrade poluprovodničkih materijala.
U aplikacijama za poluprovodnike, na primer, u reaktivnom ioneskom etchingu, tetrafluorometan je gas fluorougljenik najvećeg volumena koji se koristi. U drugim aplikacijama, tetrafluorometan se može koristiti kao gas za čišćenje plazma komora, kao agent za ekspanziju za poliolefine i poliuretane, kao pogonsko sredstvo za aerosole, kao sredstvo za gašenje požara i kao gasni dielektrični izolacijski medij.

Спецификације и параметри

Сценарији примене

• U kombinaciji sa kiseonikom za graviranje polikristalnog silicijuma, silicijum dioksida, silicijum nitrida, nekih metala i metalnih silikida
• Može se kombinovati sa halokarbonom 116 ili koristiti samostalno za čišćenje vafla i komora
• Procesi graviranja vafla
• Hladni agent niske temperature (R-14)
• Sredstvo za ekspanziju za poliolefine i poliuretane
• Mikroizrada elektronike
• Pogonsko sredstvo za aerosole
• Sredstvo za gašenje požara
• Gasoviti dielektrični izolacioni medij